詳細(xì)摘要： 等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）
產(chǎn)品型號：所在地：深圳市更新時(shí)間：2023-01-14 在線留言深圳海創(chuàng)德科技有限公司
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深圳海創(chuàng)德科技有限公司
詳細(xì)摘要： 等離子體增強(qiáng)原子層沉積（PEALD）
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詳細(xì)摘要： 特殊的腔體設(shè)計(jì)和工藝設(shè)計(jì)，可以使得ALD技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以提高鍍膜效率
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詳細(xì)摘要： 矽碁科技利用PEALD和PECVD各自鍍膜的特點(diǎn)為用戶開發(fā)了PECVDPEALD聯(lián)合鍍膜系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體工藝中的薄膜封裝，OELD薄膜封裝，太陽能電池封裝，薄膜...
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